产品简介

OWT-200采用PHYS独有技术，对透明、半透明、不透明几乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,弯曲度，平整

度进行无接触测量，其对透明、半透明材料的高精度测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。

特征

无接触无损伤测量

高度及重复性

测量材料范围广，透明、半透明、不透明几乎所有材料的

厚度/弯曲度/平整度/LTV/TTV

抗干扰强，稳定性好

强大的工控机控制和大屏幕显示

一体化设计操作更方便，系统稳定

为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量

超高测试速度

技术指标

测试尺寸：50mm-200mm.

厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um

厚度测试精度：+/-0.1um

厚度重复性精度：0.050um

TTV 测试精度: +/-0.1um

TTV重复性精度: 0.01um

Warp/Bow精度: 0.2um

Warp/Bow重复度: 0.5um

测量时间: 材料：透明、半透明、不透明几乎所有的材料

尺寸: 560X650X400mm

电源：220V 50HZ 300W

主要客户：欧洲、美洲、台湾等地区蓝宝石生产企业

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北京合能阳光新能源技术有限公司

北京市通州区工业开发区光华路16号

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