硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。

单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀，在每平方厘米硅表面形成几百万个四面方锥体也即金字塔结构。由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的吸收，提高了电池的短路电流和转换效率。

硅片，简单来讲就是用硅制成的片，所以叫硅片，它主要是用在晶体硅光伏电池中，它质量方面的要求是很高的，表面不能有损伤等缺陷，比如弯曲、凹凸或者厚度不均匀等。并且硅在切割过程中，要注意切割方式和方法，尽量减少硅原料的消耗量。

它的工序，主要有：

切片：就是将硅棒切成薄硅片，具有一定的几何尺寸。

退火：让硅片表面发生氧化反应，通过氧化炉，使其表面形成二氧化硅保护层。

倒角：硅片进行修整，修整成圆弧形，避免产生缺陷，增加其平坦度。